在人工智能、新能源、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的當(dāng)下,芯片作為核心元器件,市場(chǎng)需求持續(xù)攀升,制造工藝也向著精細(xì)化、高端化不斷升級(jí)。芯片生產(chǎn)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境、原材料有著嚴(yán)苛的要求,其中生產(chǎn)用水的純度,直接決定芯片的良品率與產(chǎn)品性能,超純水設(shè)備也隨之成為芯片生產(chǎn)線不可或缺的關(guān)鍵裝備,為高端制造筑牢水質(zhì)防線。
芯片制造工序繁雜,晶圓清洗、光刻、蝕刻等核心環(huán)節(jié),都需要大量高純度水。普通工業(yè)用水中含有微量離子、微生物、顆粒物等雜質(zhì),哪怕只有0.1ppb的金屬離子超標(biāo),都會(huì)損傷芯片內(nèi)部精密電路,導(dǎo)致產(chǎn)品漏電、短路,甚至整批次報(bào)廢。傳統(tǒng)超純水處理工藝,多采用離子交換樹脂制取純水,雖然能達(dá)到基礎(chǔ)純水標(biāo)準(zhǔn),但弊端十分突出。該工藝需要定期對(duì)樹脂進(jìn)行再生處理,不僅消耗大量酸堿藥劑和水資源,耗費(fèi)大量人力物力,還會(huì)產(chǎn)生廢水污染環(huán)境,同時(shí)水質(zhì)穩(wěn)定性差,難以滿足芯片制程的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。

萊特萊德超純水設(shè)備徹底打破了傳統(tǒng)工藝的局限,采用多級(jí)深度凈化技術(shù),打造閉環(huán)式純水制備系統(tǒng),完美契合電子工業(yè)用水標(biāo)準(zhǔn)。整套設(shè)備分工明確,預(yù)處理系統(tǒng)由多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器組成,先去除水中大顆粒雜質(zhì)、余氯、有機(jī)物等,初步凈化水質(zhì);核心處理環(huán)節(jié)搭載RO反滲透主機(jī)系統(tǒng),高效截留水中離子、細(xì)菌等有害物質(zhì),再配合EDI電除鹽系統(tǒng)、拋光混床深度精制,層層過濾、深度除雜,最終產(chǎn)出電阻率達(dá)標(biāo)、雜質(zhì)含量近乎零的超純水,完全符合我國(guó)電子工業(yè)部電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)要求。
相比傳統(tǒng)工藝,超純水設(shè)備優(yōu)勢(shì)十分顯著。設(shè)備全程自動(dòng)化運(yùn)行,無需人工頻繁值守操作,一鍵啟動(dòng)、實(shí)時(shí)監(jiān)控水質(zhì)參數(shù),出現(xiàn)異常自動(dòng)報(bào)警,大幅降低人工成本和運(yùn)維難度。產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定可控,不會(huì)出現(xiàn)傳統(tǒng)工藝再生期間水質(zhì)波動(dòng)的問題,能持續(xù)穩(wěn)定供應(yīng)合格超純水,保障生產(chǎn)線不間斷運(yùn)行。同時(shí),設(shè)備節(jié)能環(huán)保,減少化學(xué)藥劑使用,降低廢水排放量,貼合綠色生產(chǎn)理念,適配現(xiàn)代化工廠的可持續(xù)發(fā)展需求。

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